乙硅烷在薄膜晶体管液晶显示和芯片制造以及非晶硅膜太阳能电池生产中都有着极其重要的作用。作为沉积源时，与相同作用的硅烷相比，乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低等优点。乙硅烷可以用于非晶硅膜太阳能电池和电子产品中电子级晶体硅的生产，在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃；在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓；在离子注入中，以乙硅烷作离子源后束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。因此，未来乙硅烷将会有广阔的使用空间，目前许多芯片厂开始尝试使用含一定浓度的SiH4-Si2H6混合气体。
高纯度特种电子气体的研发与产业化作为集成电路制造装备及成套工艺的核心部分，与载人航天与探月工程等一起，被列入我国16个国家科技重大专项。日前，万华节能科技集团靠着应用在14纳米以下芯片的乙硅烷相关专利技术，融资1200万。万华节能总经理高迎弟说，这次融资只能解一时之急。这个项目经过小试、中试后，工业化产品已经研制出来，正准备产业化。在这个项目上，万华节能前期已经投入七八千万，光实验室设备就投了四五千万，如果投产至少还需要2个亿。幸运的是，乙硅烷这个项目站在了目前最热的集成电路产业赛道。高迎弟介绍，目前国家集成电路产业基金，深创投等机构已经来万华节能做尽调。“行业大基金、创投能带来上下游资源，带来市场，把万华节能带到这个新兴领域，利用行业基金和创投的力量，使产品迅速产业化。”山东省2021年省级重点项目包括烟台万华电子材料有限公司硅烷类产品生产项目(年产硅烷类产品140吨)。
根据《中国气体新建项目汇编2021版》，我国新建乙硅烷项目包括多氟多2100t/a高纯硅烷系列产品技改项目（新增产能乙硅烷100t/a等）；内蒙古兴洋年产1200吨芯片用电子级高新硅材料项目（含100t/a电子级乙硅烷）；江西华特年产15吨乙硅烷项目；安徽华中硅族气体项目（含10t/a电子级乙硅烷）；福建恒申年产60吨乙硅烷项目；山东万华年产80吨乙硅烷项目；上海兮噗年产100吨乙硅烷项目等。
