我们经常会听到有人说，事故是可以预防的，但是我们身边的事故却依然层出不穷。日前，由Asia主办的半导体气体安全研讨会在南京举办，林德公司沈吉女士做了关于《气体使用的应急处置及典型事故分享》的专题报告，分别就易燃易爆、自然灾害、腐蚀性和强氧化性等典型电子特气案例进行深度剖析，深刻回顾了电子特气操作过程中稍有不慎引起的惨烈画面。对此，气体圈子汇总成文，希望更多气体从业者可以借鉴，防微杜渐，防患于未然。
首先讲的是硅烷气硅燃烧损毁的案例。操作员在没有根据清单排查的情况下，错误的把正在使用中的硅烷拧松，从而导致泄露着火，最终整个气柜损毁。这起事故的根因是没有根据SOP检查清单，可能没有经过专业的特气培训或者说没培训好，另外还建议坚持双人操作机制。另一起事故引起了两起火灾，最终导致操作人员面部严重灼烧。事故发生在某半导体工厂，因为有台风即将到来，所以工厂全部断电。台风过后想要恢复生产，经过逐一检查发现设备也没有问题，可以恢复生产。其实在当时断电的时候放空管道已经进入了空气，管道中残留的乙硅烷和空气反应，真空泵的一段软管被烧坏了，操作人员发现之后，想着把烧坏的这段进行修补。这个时候发现后段管道温度在上升，于是，他们想用氮气置换后段管道。过了一会，他们感觉时间应该差不多了，然后就松开盲板，这个时候，死角的乙硅烷遇到空气再次燃烧，又引起了二次着火，这次操作人员的面部严重烧伤。
事故三发生在三氟化硼工厂的年度检修期间。工人先是用水清洗储罐，清洗的时候发现有残留污渍很难处理，所以计划用电动工具在储罐上切一个洞把污渍排出来，结果在切的过程中发生了爆炸。究其原因，因为三氟化硼的强腐蚀性，遇水的情况下很容易生成氢氟酸，加之罐体已经有铁的析出，所以综合反应生成了氢气，氢气在罐中积聚，当带电的电动工具切割时产生了火花，所以氢气遇火爆炸。究其原因，操作人员对气体化学性质不了解的情况下才导致了严重的事故后果。所以上岗之前一定要有专业的电子特知识培训。
最后一个事故是关于三氟化氮，一种很常见的电子特气，它虽然没有易燃、自燃的性质，但是它却又非常强的氧化性。客户现场的充装模式原本是17管TT逐一充装法。当前4支管充满的情况下，为了做产品分析，这个时候把所有阀门都打开了。因为满管和空管之间巨大的压差导致气体流向压力低的地方，因为流速非常高，摩擦不锈钢管引起了火花，易熔塞烧了起来。旁边另一辆8管的车和这辆车之间隔有一个PVC材质的帘子，PVC帘子燃烧起来之后引起8管车的轮胎也烧了起来，液化气体在温度升高的情况下导致管内压力急剧上升超过本身承压范围，最终管车发生强烈爆炸。
根因，没有考虑到三氟化氮的强氧化性，虽然不是易燃，不自然，但它是强氧化剂。其次，17管同时充装产生的第一次燃烧并没有报警，现场缺乏报警监控和应急处理预案。另外，强氧化剂的地方要移除易燃物／可燃物，现场温度过高要加入喷淋装置。建议操作之前严格执行危险工作许可制度，掌握气体理化特性，仔细研读气体各种特性和SDS（Safety Data Sheet）。
