随着半导体市场的增长，电子特气的需求也随之增加。日本电子特气市场规模2020年同比增长3%至531亿日元。本文综述2020年日本电子特气市场情况以及各日企产能扩张计划，2020年日本各种电子特气销售情况详见《气体圈子》第26期。
■ 溴化氢和乙硼烷增量明显
电子特气有些用作大规模集成电路中配线的原料气体，有些用作蚀刻和制造设备清洗的工艺用气体。例如，NF3和CL2被广泛用作制造设备的清洁气体，WF6作为金属钨化学气相沉积工艺的原材料需求正在增加。HBr、CH3F、CF4、C4F8是NAND（非易失性存储器）和DRAM（易失性存储器）等半导体存储器常用的蚀刻气体，C4F6亦需求旺盛。B2H6和HBr也同比增长超过20%，TEOS和NF3也实现了两位数的增长。BCl3、CF4、C4F8、Cl2、N2O和WF6在2020年均有不同程度的增长。
■ 半导体市场增长迅速
半导体行业2020年销售额增长6.8%至4400亿美元。其中，集成电路销售额为3612.26亿美元（同比增长8.4%）。集成电路方面，2020年逻辑和存储器均实现两位数同比增长，分别为11.1%和10.4%，预计2021年模拟、逻辑、存储器将实现2位数的增长，其中，存储器2021年同比增加31.7%，2022年将大幅增加17.4%。世界经济正在走向正常化，汽车等半导体需求增加，市场规模将比2020年增加2成，2022年增长率或将减缓，但预测依然保持正增长。
■电子特气市场需求依然旺盛
以2020年旺盛的气体需求为背景，各电子特气公司业绩表现都很好。昭和电工表示，包括信息电子化学品（含电子特气）在内的化学品部门的销售额减收减益，但信息电子化学品从2019年后半期开始，以存储器为中心的半导体需求恢复，销售数量增加，导致了增收增益。大阳日酸2020年的特殊气体的销售额同比增加了10%，亚洲和大洋洲的销售额同比增长20%，电子特气整体也实现了增收增益。关东电化工业、中央硝子、ADEKA 2020年也都实现了增收。由于关东电化的NF3、WF6和C4F6销量增加，所以高纯度气体在内的精密化学品事业部增收。中央硝子半导体特殊气体业绩亦增收。ADEKA面向DRAM的新产品的出货顺利扩大，面向NAND的产品的销售也很稳定，包含半导体用高纯度气体、电子化学品均增收增益。住友精化也增加了电子特气的销售数量，实现增收。
预计电子特气在2021年将继续保持良好势头，昭和电工第一季度业绩增长强劲，他们预计第2季度也将继续高速增长。大阳日酸也认为2021年国内以及亚洲大洋洲电子特气的旺盛需求将持续。关东电化预测精密化学品的销售额将比上年同期增加10%，营业利润将比上年同期增加30%。中央硝子认为2021年度精细化学的销售额比去年同期增加了1成以上，ADEKA预测半导体用高纯度气体2021年度也将继续保持旺盛的需求。
■看好中国和韩国市场
为了应对市场的旺盛需求，各气体公司继续致力于提高生产能力。昭和电工在通过消除HBr、CH3F、Cl2等各工厂瓶颈来改善生产效率的同时，正在研究建设新装置。另外，2021年度下半年开始在中国上海生产C4F8及N2O。关东电气化也在加强WF6、C4F6的生产，计划2023年以后在中国安徽省的据点生产WF6、C4F6和CF4。中央硝子也在中国浙江省WF6的生产准备。大阳日酸除了在中国江苏省的成套设备上进行B2H6的客户评价对应以外，CH3F的设备也已经启动。另一方面，韩国也在讨论增加B2H6的生产，还计划2021年启动CH3F的生产。ADEKA除了在韩国继续增强高介电材料的生产外，还将从2021年开始在中国江苏省开始生产Cl2。并且，2022年在中国也计划TEOS的批量生产。住友精化将于2022年在韩国建设电子级CO新工厂。
总结
除了半导体市场的扩张外，制造工艺的复杂性和精密性正也推动了对电子特气的需求。尤其是自3D-NAND问世以来，在三维方向上堆叠的存储单元和蚀刻工艺的数量急剧增加，且增加趋势显著。未来，除蚀刻工艺外，预计成膜工艺对高纯气体的需求也将增长。由此，可以预测各家电子特气供应商未来的经营业绩还会进一步增长。
