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【活动】以旧换新福利,超纯水在线监控你都做到了吗?

   日期:2021-09-01     来源:工控之家网    作者:工控之家    评论:0    
核心提示:随着人工智能(AI)、智能通信(5G)、物联网(loT)和大数据驱动飞速发展,市场对于芯片的尺寸和质量要求,都在发生着质的飞跃。 超纯水(UPW)是确保微电子行业高效生产的基石之一,对制造过程和产品质量有着至关重要的作用。 如何对水质异常进

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随着人工智能(AI)、智能通信(5G)、物联网(loT)和大数据驱动飞速发展,市场对于芯片的尺寸和质量要求,都在发生着质的飞跃。

超纯水(UPW)是确保微电子行业高效生产的基石之一,对制造过程和产品质量有着至关重要的作用。

如何对水质异常进行快速响应,避免问题水质影响更多的制程工艺;如何对异常情况进行排查和解决?这些问题是该行业面临的较大挑战。

同时,由于行业标准SEMI F63更新了对UPW的最新要求(见图表1),这都表明了,超纯水UPW在线实时监控不可或缺

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图表1

面对日益严峻的挑战,梅特勒-托利多THORNTON,早在1964年便处于超纯水监控的技术前沿,专业提供微电子行业中电阻率、TOC、微生物、pH、ORP、DO、硅/钠、臭氧等重要参数的在线实时测量。

下面小梅将一一为您解析超纯水在线监控的解决方案!

TOC监测:精准低量程的TOC测量是关键

芯片、面板在生产过程中,会受到有机污染物的影响,从而导致良品率的降低;电子级湿化学品作为生产的源头,更需要确保溶液中有机物的含量。

梅特勒-托利多 THORNTON 总有机碳分析仪(6000TOCi)可以为微电子生产商提供实时在线的TOC监控方案

THORNTON作为在线电导率传感器的先驱,依托电导率测量基础,提供基于直接电导率差值法的TOC监控方式,用于解决微电子行业超纯水和回用水的测量问题。

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6000TOCi具有以下特点

1.分体式设计,兼顾测量和操作

2.原位比对校准,无需拆卸

3.多通道多参数,可同时控制,如电阻率、溶解氧、pH、流量等

4.直接电导法,实现极低的后期维护

5.“Auto Balance” 技术确保低限测量精度

6.快速启动,数据实时更新

6000TOCi作为梅特勒-托利多THORNTON的明星产品,我们提供梅特勒-托利多原厂专业团队的服务,提供超值的以旧换新服务,以合理的价格帮客户替换性能不良、使用寿命较长的设备,解决企业的后顾之忧。

电阻率: 一只电极适用于所有水处理环节

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梅特勒-托利多UniCond技术提升了在电阻率测量过程中传感器的性能和精度,同时拓展了量程,一只电极可以满足整个半导体行业的制水工艺不同的测量需求。

1.高精度,抗干扰

2.智能管理技术,优化电极使用

3.即插即测,无需手动配置

4.光学溶氧传感器监测

5.无需极化、快速响应

在UPW系统中有非常多的用户需要确保水中溶解氧气处于微量级别,梅特勒-托利多光学溶氧传感器,可以在快速响应的基础上提供痕量溶解氧测量。

1.非电化学原理,不受水中还原性物质影响

2.不用极化,耗材少,维护简单

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面对日益严苛的水质要求,您的超纯水在线监测都做到了吗?

梅特勒-托利多作为水质分析的专家,不间断守护您的水质安全!

我们特意开展了“ TOC总有机碳分析仪以旧换新 ”活动,

完整登记您的信息,将有机会获取精美野餐垫一份

共计50份,先到先得哦!

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活动说明:

1.活动截止日期:2021年9月30日

2.活动对象:微电子行业客户(包含且不限于芯片,平板显示器,电子级化学品等)

3.本活动最终解释权归梅特勒-托利多所有。

点击链接或扫描二维码,一键参加活动!

https://wj.qq.com/s2/8898207/7e0e

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