近日，中科富海旗下控股子公司安徽中科昊海气体科技有限公司(下称“中科昊海”)通过国际知名企业铠侠电子(中国)有限公司(下称“铠侠电子”)和博纯材料股份有限公司(下称“博纯材料”)的稀有气体供应商质量体系联合稽核，标志着中科昊海已经正式成为铠侠电子和博纯材料的稀有气体合格供应商。中科昊海生产的高纯稀有气体产品将应用于铠侠电子的3D NAND存储芯片蚀刻工艺。
铠侠电子(原东芝存储器)是全球知名半导体企业，目前在3D NAND存储芯片生产制造领域处于领先地位。博纯材料是超高纯工艺气体材料研发及生产的领军企业，在全球半导体、平板显示、LED、太阳能电池等高科技产业链上扮演重要角色。本次通过铠侠电子和博纯材料联合稽核标志着中科昊海的产品质量管理体系已经初步获得国际知名集成电路企业的认可。中科富海氖氦氪氙精制装置产出高品质气体产品，将广泛应用于集成电路行业。
众所周知，电子级氪气和氙气是制造存储芯片蚀刻制程中的重要工艺气体。随着存储芯片容量不断增大和集成度提高，对氪氙气体纯度及产品工艺稳定要求也日渐严格。因此集成电路企业对于气体供应商有极高的要求，除了气体质量达到要求外还更加注重于产品的稳定性和可靠性。集成电路强企业会对气体生产企业的产品流程进行稽核考评。
依托于中科院理化所核心技术成果，中科富海成功开发基于深低温提取高纯稀有气体工艺包，研制并投产稀有气体氖氦氪氙精制装置。该装置可实现年产高纯氦气8500m³，高纯氖气25500m³，高纯氪气5500m³，高纯氙气345m³，将为国内半导体材料和电子特气的自主化发展贡献力量。
文章来源：气体分离
