3月31日，1ppb，随着长沙惠科超高纯气体供应项目现场调试指挥部传来的如此简单一个数字，远在广州的广钢气体总部沸腾了。所有人都在通过广钢气体新建的远程数字化中心，密切关注着调试过程，每一个参数的跳动都连着大家的心跳。这是广钢气体自主研发的Super-N系列超高纯制氮系统优化后的巨大进步，也是该专利产品投入商业化实践，助力攻关电子气体“卡脖子”技术所取得的重大突破。
满足国内最高质量标准
打响本土气体品牌
作为国内第一家具有超高纯电子大宗气体供应服务能力的本土气体企业，广钢气体继2018年打破外资垄断，成功中标安徽滁州惠科超高纯气体项目后，持续发力技术与设备，2020年在电子气体业务板块再开新局，拿下长沙惠科超高纯大宗气站供应项目。
该项目是惠科公司在全国布局的第4个面板生产基地，总投资达320亿元，在湖南长沙浏阳经开区建设大尺寸超高清显示屏及OLED显示屏生产线的重要供气配套。建成后将为长沙惠科提供ppb级（即十亿分之一的杂质含量，目前国内最高质量标准）的超高纯气体运营，并确保其可靠性超过99.6%以上，可供性达到100%。在3月31日进入调试收尾阶段，制氮机氮气产量达13400m³/h，产品纯度达1ppb，比合同约定制氮机组供气时间提前1个月。
填补国内技术空白
提供“中国芯”保障
高纯氮气是电子行业不可缺少的基础性原材料，可用于超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程。高端电子行业中的氮气纯度必须保持约99.999999%，才符合电子行业的生产标准。
广钢气体Super-N系列超高纯制氮系统是广钢气体在安徽滁州电子级超高纯大宗气站项目实施过程中，通过技术攻关，成功研发的国内首套具有自主知识产权技术的超高纯气体制取系统，创造了国内超高纯后备系统供气用时最短记录，该系统在2019年成功试车投产，并于2021年初获得国家颁发的发明专利证书。经优化设计后，在长沙惠科超高纯气体供应项目再次投入实践，填补了国内制氮装置出冷箱杂质1ppb的空白，可满足目前最严格的芯片项目对制氮装置出冷箱产品的纯度要求，是广钢气体发展历程中里程碑式的技术进阶，为进一步实现“广钢气制造中国芯”目标提供了硬件保障。
攻关行业“卡脖子”难题
打破外资制约
今年3月，工信部等多个部委召开工业气体“卡脖子”问题协调工作会议，协调推进解决制约行业发展的“卡脖子”问题，并提出当前电子气体市场受制于外资品牌的发展困境。
广钢气体积极突破行业壁垒，在与一众外资巨头竞争中，大力培育内资气体品牌发展优势，近几年发展势头强劲。其中，电子气体业务发展迅猛，在平板显示、芯片、LED、太阳能等半导体领域均取得丰富实绩，频频引起业内关注与认可。目前已分别在深圳、滁州建设三套国内领先的ppb级超高纯氮气空分装置，及ppb级大宗气体纯化系统，形成了一道强有力的技术堡垒。
下一步，广钢气体将充分整合广州工控资源条件，打造差异化竞争优势，助力解决电子气体“卡脖子”难题，打破半导体高端领域气体材料进口制约，进一步推进我国电子气体国产化进程，集中力量赋能打造“中国芯”。
文章来源：气体分离
