提高压电式直线电机推力新技术

摘要：介绍了蠕动式、脉冲式、行波式及表面波式等几种压电直线电机的改进措施和进展情况，其中微脊式蠕动直线电机和表面波直线电机极有可能成为令后压电直线电机的商品化市场的新产品方向。
关键词：压电直线电机； 超声电机； 脉冲压电电机； 蠕动； 表面波；行波

Abstract： With the improvements oil inchworm，micro-push，traveling-wave and surface-acoustic—wave linear motors introduced．it is concluded that the micro—edge-inchworm and surface—acoustic-wave motors will promise well in the future research and commereial use．
Keywords：piezoeletrie hnear motor； ultrasonic motor； micro—push motor； inchworm； SAW； travel—ling wave

引言

    随着科学技术的飞速发展，尤其是在光学、微电子、航空、航天、机械制造、机器人技术、现代医学、生物及遗传工程等诸多技术领域．越来越需要一种高性能的直线电机驱动技术 而压电直线电机具有体积小、成本低、输出力大（相对其体积而言）、响应快、
精度高、无电磁干扰等特点，已经成为众多研究机构和企业关注的热点，具有广泛的应用前景。
    但是，目前压电直线电机的驱动主要是依靠摩擦力传递实现的。因此轴向刚度和输出推力较低是迄今所有压电直线电机乃至所有压电电机的共同缺点，这在很大程度上制约了它的实际应用。如何才能很好地提高轴向推力，以满足其驱动需要和扩大其应用范围，是当前压电直线电机研究的一个热点问题。本文将介绍几种典型的压电直线电机在提高其轴向推力方面的结构改进及其研究进展情况。